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中圖儀器SEM掃描電鏡用于對樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測和分析。標(biāo)配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統(tǒng),能滿足用戶對多類型樣品的觀測需求,實現(xiàn)微觀的形貌和元素分析等。
核心優(yōu)勢
1、緊湊靈活,突破空間限制
(1)臺式設(shè)計,體積小巧,輕松擺放在桌面或狹小空間(如手套箱、移動實驗室),節(jié)省實驗室空間。
(2)支持快速移機(jī),一臺設(shè)備滿足多場景需求,助力科研效率提升。
2、高性能,納米級分辨率
(1)空間分辨率優(yōu)于4nm(SE),支持高達(dá)200,000倍放大,精準(zhǔn)捕捉納米材料、微流控芯片等樣品的微觀形貌。
(2)高襯度成像系統(tǒng),快速掃描也能清晰呈現(xiàn)微弱信號,滿足材料科學(xué)、生命科學(xué)等領(lǐng)域的需求。
3、抗振防磁,穩(wěn)定無懼挑戰(zhàn)
(1)特殊隔振設(shè)計(CEM3000B搭載復(fù)合抗振系統(tǒng)),消除環(huán)境振動與電磁干擾,保障高倍成像質(zhì)量。
(2)適用于工業(yè)車間、車載實驗室等復(fù)雜環(huán)境,穩(wěn)定可靠。
4、高效便捷,一鍵智能操作
(1)快速抽放氣技術(shù):低真空模式僅需40秒(CEM3000B),高真空模式最快1.5分鐘,大幅縮短等待時間。
(2)自動對焦、消像散、圖像增強(qiáng)功能,一鍵生成高質(zhì)量圖片,降低操作門檻。
5、靈活拓展,滿足多樣需求
(1)可選配低真空系統(tǒng)(5~100Pa),兼容導(dǎo)電/非導(dǎo)電樣品觀測。
(2)CEM3000系列桌面式掃描電子顯微鏡支持二次電子、背散射電子探頭及能譜儀,搭配顆粒統(tǒng)計、孔隙率測量等定制功能,滿足多領(lǐng)域分析需求。
中圖儀器SEM掃描電鏡憑借其簡便的操作系統(tǒng),讓復(fù)雜的掃描電鏡使用過程變得簡單快捷。樣品一鍵裝入,自動導(dǎo)航和一鍵出圖能力(自動聚焦+自動消像散+自動亮度對比度)幫助用戶在短短幾十秒內(nèi)就可獲取高清圖像,大大提升了使用效率。
產(chǎn)品型號
CEM3000系列共涵蓋CEM3000A(大樣品倉型)和CEM3000B(抗振型)兩款強(qiáng)化機(jī)型,CEM3000A在不改變整機(jī)外觀尺寸的情況下,拓展了樣品倉尺寸,從而可對大尺寸樣品或多個常規(guī)尺寸樣品進(jìn)行分析。同時,用戶也可選擇加裝有減振倉的CEM3000B,確保在縮短抽放氣時間的同時,消除環(huán)境振動對電鏡的影響,保證了高倍數(shù)成像時的圖像質(zhì)量。
產(chǎn)品功能
1.高分辨率,滿足用戶觀測需求;
2.快速抽放氣,縮短等待時間;
3.高易用性
可快速成像,一鍵成片;
4.多種成像參數(shù)
滿足專業(yè)用戶的調(diào)節(jié)需求;
5.高抗振防磁性能
強(qiáng)抗干擾能力;
6.可選配低真空模式,保證用戶能夠根據(jù)需要設(shè)定電鏡樣品倉內(nèi)真空度,進(jìn)而對不同類型的樣品進(jìn)行觀測。
7.大樣品倉
SEM3000A在保證較小外形尺寸同時,具有比肩立式電鏡的大倉室,從而容納更大尺寸樣品;
8.多探測器
可實現(xiàn)四分窗同時掃描成像。
應(yīng)用場景
材料科學(xué):納米材料(如60nm銀線)、高熵合金粉末、氧化鋅等微觀結(jié)構(gòu)分析。
新能源:太陽能電池板缺陷檢測、涂層性能評估。
生物醫(yī)療:微流控芯片表面形貌觀測、藥物載體研究。
工業(yè)質(zhì)檢:錫球顆粒焊接質(zhì)量、精密器件表面粗糙度檢測。
部分技術(shù)指標(biāo)
型號 | CEM3000A(大樣品倉型) | |
電子槍 | 燈絲 | 鎢燈絲 |
分辨率 | 優(yōu)于4nm(SE),優(yōu)于8nm(BSE) @20kV | |
加速電壓 | 1 ~ 20kV | |
放大倍數(shù) | 電子圖:40 ~ 200,000×(可選配大圖拼接) | |
探測器 | 二次電子 | 標(biāo)配 |
背散射電子 | 標(biāo)配(四象限高分辨探頭) | |
能譜儀 | 選配 | |
自動化軟件 | 標(biāo)配:自動合軸、自動聚焦、自動消像散、一鍵圖像增強(qiáng) | |
選配:顆粒度統(tǒng)計、孔隙率測量、纖維測量、三維粗糙度重建 | ||
真空系統(tǒng) | 真空度 | 高真空:優(yōu)于9×10-3Pa 低真空:5 ~ 100 Pa(選配) |
抽真空時間 | 低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min | |
樣品臺 | 自動軸 | X,Y,T |
手動軸 | R,Z | |
行程范圍 | X: 50mm | |
Y: 50mm | ||
R: 0°~360°(手動旋轉(zhuǎn)、電子束旋轉(zhuǎn)) | ||
T: -22.5°~ +22.5° | ||
Z: 45mm | ||
最大樣品尺寸 | 70mm×70mm(水平) 45mm(高度) | |
倉內(nèi)相機(jī) | 導(dǎo)航相機(jī) | 標(biāo)配高分辨彩色相機(jī) |
側(cè)視相機(jī) | 標(biāo)配高分辨紅外相機(jī) | |
操作系統(tǒng) 圖片尺寸 | Windows10 (64bit) | |
640×480 | ||
1280×960 | ||
2560×1920 | ||
5120×3840 | ||
10240×7680 |
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